金融界2024年11月14日音问，国度学问产权局信息裸露，上海芯东来半导体科技有限公司请求一项名为“高精度滑台组件及光刻机职责台”的专利，公开号CN 118938612 A欧洲杯体育，请求日历为2024年10月。

专利摘抄裸露，本发明提供了一种高精度滑台组件及光刻机职责台，高精度滑台组件包括基座、滑台、滑台脱手部以及调度部；所述滑台用于承载晶圆载台；基座设有直线导轨，滑台装置于直线导轨，滑台脱手部洞开于滑台以脱手滑台沿直线导轨领略。调度部的第一端洞开于滑台脱手部，调度部的第二端动掸洞开于滑台的一端，调度部好像在滑台脱手部的脱手下绕滑台的一端朝围聚基座或者辩认基座的标的动掸。好像幸免滑台在领略经过中发生细小抖动和摩擦，提升了滑台静态性能和滑台组件的使用寿命。

本文源自：金融界

作家：谍报员